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高速状态下精 确在线质量控制


精密、非接触式 CHRocodile CLS 线共焦传感器可实现高速在线测量,确保质量控制。四倍光 CHRocodile CLS HS 有助于实现更快的测量速度。


优势特性
? 高效:高速,超精密,非接触式测量
? 免维护
? 测量稳定,易于集成到生产线
? 同步在线轮廓测试,可更换光学探头



CHRocodile CLS是所有材料超快3D检测工业化较好的选择,即使在恶劣的工业环境中也表现良好。测量稳定且高度集成的设计非常便于传感器集成到生产线检测设备中


CHRocodile CLS白光共焦线阵传感器包含192个在线测试点,在6kHz的测量速率下,每秒可采集1.13M像素的数据。超大的动态范围和优异的信噪比,适用于包括具有抛光和高倾斜表面在内的所有材料的测量。


超高的测量速度和精度的集成使该传感器为半导体晶圆和芯片缺陷检测,航空材料形貌检测,高 端手表零件外观检测打开了新的测量维度。


高效

?高速
?非接触式

?超高精度


多功能
?实时轮廓测量
?在线检测
?可更换光学探头

?距离和厚度测量


用户友好&安 全
?免维护
?测量稳定
?易于集成到生产线
可用配置

可用配置:探头90°偏转

          

探头垂直

                                             


应用

半导体 汽车 消费产品



?凸起的晶圆高度和形状检测
?检测区域:1.91 mm x 2.2 mm
?单次检测422,400个点
?扫描时间0.11 s
?机械零件的外形,深度和裂纹分析
?检测区域:1.91 mm x 6 mm
?扫描时间1.5 s

?3D智能手机盖板玻璃形貌剖面

?单次测量表面沟槽的点,尺寸和玻璃与周围

边框之间的间隙尺寸

?在6kHz采样频率时,每秒可采集1.13M个像素的数据

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