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研究型原子力显微镜


Park XE7配有Park Systems的所有顶尖技术,而且价格十分亲民。与Park Systems的其他上等型号相比,XE7在细节的设计上也相当用心,是帮助您准时且不超预算地完成研究的理想之选。



高性能原子力显微镜
同级产品中,Park XE7能够带来高纳米级分辨率的测量效果。得益于独特的原子力显微镜架构,即独立的XY轴和Z轴柔性扫描器,XE7能够实现平滑、正交且线性的扫描测量,从而精确成像和测量样品的特征。此外,Park所独有的True Non-Contact?模式还能为您带来前所未有的图像效果,探针可以在多次扫描后图像的分辨率仍不会受影响。



满足当前和未来的需求
在Park XE7的帮助下,现在与未来皆在您的掌控中。Park XE7带有业内多种测量模式。这些模式不仅能满足您目前的需求,也考虑到未来不断变化的需求。再者,XE7具有市场上*开源的设计,允许您整合其他附件和仪器,从而满足您特殊的研究需求。


易于使用
Park XE7拥有简洁的图形用户界面和自动化工具,即便是初学者也可以快速地完成对样品的扫描。无论是预准直探针、简单的样品和探针更换、轻松的激光准直、自上而下的同轴视角以及用户友好型扫描控制和App处理,XE7能够全力推动研究生产力的提高。



创新究的经济之
Park XE7不仅仅是*经济实惠的研究级原子力显微镜,也是总体成本*低的原子力显微镜。Park XE7中所搭载的True Non-Contact?模式让用户无需频繁更换昂贵的探针尖端,并且它配有业内*多的扫描模式,兼容性优良,让您可随时升级系统功能,从而延长产品的使用寿命。



Park XE7通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描

Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。大家使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置,并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材,其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品(1 kg左右),频率*高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求,因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率(约10 kHz)。


XE scan system


适用于样品和探针尖端的独立XY轴和Z轴柔性扫描器 


XY flexure scanner


平直正交的XY轴扫描,残余弯曲低


 XE-Peformence



图9. (a)表示Park Systems XE系统的背景曲率为零,而(b)是传统的原子力显微镜系统的管式扫描器的典型背景曲率,(c)展示了这些背景曲率的横截面。
图9展示了XE系统(a)和传统原子力显微镜(b)扫描硅片时,未处理的成像图。由于硅片属于原子级光滑材料,因此图像中的弯曲大多数是扫描器所引起的。图9(c)展示了图9中(a)(b)图像的横截面。由于管式扫描器本身带有背景曲率,因此当X轴的位置移动15 μm时,平面外移动*大可达80 nm。而在相同的扫描范围内,XE扫描系统的平面外移动则不超过1 nm。XE扫描系统的另一大优势是Z轴伺服回应。图10是XE扫描系统在无接触模式下拍下的一个多孔聚合物球体(二乙烯苯)的图像,其直径大约为5 ?m。由于XE扫描系统的Z轴伺服回应极其精准,探针可以**地沿着聚合物球体上的大曲率以及小孔平面结构移动,而不会压碎或粘连在其表面上。图11是Z轴伺服回应在平坦背景上高性能的表现。

     


Best Life, by True Non-Contact? Mode

在True Non-Contact?模式中,探针尖端与样品的距离在相互原子力的控制下,被成功地控制在几纳米之间。探针尖端振动幅度下,大大减少了探针与样品的接触,从而完好地保护了探针和样品。

True Non-Contact? Mode

· 探针磨损更低=高分辨率扫描更长久
· 无损式探针-样品接触=样品变化程度*小
· 避免参数依赖

Tapping Imaging

· 探针磨损更快=扫描图像模糊
· 破坏性探针-样品接触=样品受损变化
· 高参数依赖性


Longer Tip Life and Less Sample Damage

原子力显微镜探针的尖端十分脆弱,这使得它在接触样品后会快速变钝,从而限制原子力显微镜的分辨率和图像的质量。对于材质较软的样品,探针会破坏样品,导致其高度测量不准确。相应地,探针保持完整性意味着显微镜可以持续提供高分辨率的**数据。XE系列原子力显微镜的真正非接触模式能够极大程度保护探针,从而延长其寿命,并减少对于样品的破坏。下图中以1:1的长宽比展示了XE系列原子力显微镜扫描浅沟道隔离样品的未处理图像,该样品的深度由扫描电子显微镜(SEM)确定。在成像20次之后,探针几乎有没任何磨损。



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