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自动300mm晶圆搬送机


AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。

安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。



人机工程学设计,操作方便 
? 可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。 
? 分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。



坚固、可靠和安全传送 
? 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。 
? 薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。 
? 宏观观察位置的*优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。 

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